石英管清洗方法

　　1.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。

　　2.清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液，溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸（由生产人员调配）；如果原有的氢氟酸溶液很脏，则应全部排空并洗净槽体，然后通知生产人员配液；如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液，洗净槽体后请生产人员配液。

　　3.清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套，然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内，管口朝向制绒间，管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门，将酸槽清洗时间设定为30min，按下控制面板中"酸槽启动"按钮。

　　4.酸槽清洗时间的设定：

　　新的石英管只需清洗30min左右。如果是用过的石英管，应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷全部脱落的时间为准。清洗用过的管子，有的要1到2天时间。在酸槽未启动的情况下，应每隔2个小时将石英管旋转180°。

　　5.清洗人员戴好防护眼镜和手套，将石英管从酸槽取出，轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟。冲洗石英管内壁时不要按下"水槽启动"按钮，如果已经按下了应再按下"水槽结束"按钮。然后把水枪拉到石英管管口，从管口向管尾方向冲洗管内壁。冲洗时应仔细认真，不要有残留未冲到的区域。2分钟后，将石英管旋转180°，再用同样方式冲洗2分钟。

　　6.将纯水注入水槽，水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门，然后将水槽清洗时间设定为30min，按下"水槽启动"按钮。

　　7.重复第6步，再清洗一遍。

　　8.水槽结束后，将水槽内的水排空。然后，参照上面第5步的方法用水枪冲洗石英管内/外壁。主要冲洗内壁。约5min后用水枪冲洗管尾的四个小通气管，同样是管内壁。冲洗2分钟后再继续从管口方向冲洗。此步清洗时间应不少于15min，以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗干净的标志。

　　9.清洗好后将石英管放到净化间的指定位置，下面垫上专用的泡沫。

　　10.将管口和尾管用专用铝箔密封。